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真空無(wú)氧烘箱,高溫?zé)o氧真空烤箱

真空無(wú)氧烘箱,高溫?zé)o氧真空烤箱

簡(jiǎn)要描述:

真空無(wú)氧烘箱,高溫?zé)o氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合材料預(yù)處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

真空無(wú)氧烘箱,高溫?zé)o氧真空烤箱簡(jiǎn)介
     真空無(wú)氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設(shè)備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu),全部采用無(wú)塵材料,箱內(nèi)可充氮、真空,使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制,并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置,曲線升溫、恒溫、快速降溫。并附設(shè)有超溫?cái)嚅_(kāi)加熱、氧含量檢測(cè)、輔助降溫裝置及報(bào)警電路,控制可靠,使用安全。
      真空無(wú)氧烘箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合材料預(yù)處理ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
真空無(wú)氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍: RT(室溫)+50~ +200/300/400/500℃;
溫度波動(dòng)度:≤±1

升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:自然降溫或風(fēng)冷+水冷降溫

氮?dú)饪刂疲弘姶砰y+可調(diào)試流量計(jì)控制
氧含量檢測(cè):氧濃度檢測(cè)儀可達(dá)10ppm

工作尺寸:W350×H350×D350,可定制
高溫?zé)o氧真空烤箱結(jié)構(gòu):
箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆;
內(nèi)室材料:采用SUS304#無(wú)磁性鏡面不銹鋼;
保溫材料:超細(xì)陶瓷纖維;
排 氣 口:KF25;
真空泵:渦旋式油泵或干泵;
真空無(wú)氧烘箱,高溫?zé)o氧真空烤箱溫控系統(tǒng):
操作界面:人機(jī)界面+PLC,可一鍵運(yùn)行,多個(gè)工藝編輯;
溫度測(cè)量:K型熱偶;

控制儀表:高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃,可程式觸摸屏控制器可選擇
超溫保護(hù)儀表:獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng),保證試驗(yàn)品的安全;
控制系統(tǒng):主要電器件均采用施耐德、正泰等品牌元?dú)饧?/span>

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