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半導體充氮烘箱,氮氣烤膠烘箱

半導體充氮烘箱,氮氣烤膠烘箱

簡要描述:

半導體充氮烘箱,氮氣烤膠烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤

半導體充氮烘箱,氮氣烤膠烘箱

   精密烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

半導體充氮烘箱,氮氣烤膠烘箱

2.1溫度范圍: RT+10~250℃;

2.2溫度均勻度:≤±1.5%℃;

2.3升溫速度:0-5℃/min;

2.4潔凈度:無發塵材料,可達使用環境潔凈等級;

2.5工作尺寸:D450×W450×H450mm,D500×W600×H750mm;多尺寸定制

2.6電源:AC220V/50HZ, 4.0KW ;

2.7 計時功能:具有獨立的計時器,計時復位開關,計時報警器;

2.8 進氣口:φ6mmN2進氣、流量計控制0-250ML可調;

2.9 安全保護功能:超溫保護,電機過熱保護,過流保護,電磁門鎖(防止高溫開門),三色燈指示。

   氮氣烤膠烘箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。烘箱內部整機為不銹鋼結構,全部采用無塵材料,箱內持續充氮,使烘箱工作室內處于潔凈狀態。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。


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