塑封固化專用潔凈烘箱

塑封固化專用潔凈烘箱使用要求

   塑封固化：注塑完成后，工件轉移至固化加熱爐，采用自動加熱的方式對其進行保溫固化，固化溫度維持在 175℃，固化時間為 8 小時。塑封固化的主要作用是消除塑封料內部的應力。此過程主要污染物：固化有機廢氣。

塑封固化專用潔凈烘箱性能

   潔凈烘箱，百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

 潔凈等級：Class 100;     

溫度范圍：RT+10～250/450℃；
 溫度均勻度：±1.5%℃;    

溫度波動度：±1℃（空載）；        
 溫控精度：0.1℃;

內腔尺寸：600*600*500(mm)，可定制尺寸、多箱體一體式；

潔凈烘箱耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)

a、內部 100 級潔凈過濾器，采用耐高溫高效過濾器使用有隔板設計，波紋形隔板可以精確地保持褶層間距

b、在最小阻力下，最大限度地利用濾料，過濾器濾材兩面 180 褶翻褶形褶層，濾料折彎時有兩道壓痕

c、使其在隔板的尾端開成鍥形盒式褶層，鍥形盒式褶層可以防止濾料破損

d、特點：

效率高、阻力低、容塵量大；

外框材質：不銹鋼;

濾料：超細玻璃纖維濾紙;

隔板：鋁箔;

過濾效率：≥99.99%;

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