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前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱 工業(yè)烘箱

前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱 工業(yè)烘箱

簡要描述:

前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱優(yōu)化光刻膠的光學(xué)吸收特性,提高光刻膠對襯底的黏附性

前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱用途

  前烘可在熱烘板或氮氣烘箱中進(jìn)行,本課題采用的熱風(fēng)烘箱為雋思氮氣潔凈烘箱,由于在鼓風(fēng)烘箱中對流烘烤將會使前烘進(jìn)行的更加均勻,所以在鼓風(fēng)箱中前烘的效果將會更理想。

前烘是在涂膠結(jié)束后進(jìn)行,它的作用有以下幾個方面

驅(qū)趕膠中的溶劑

提高膠對襯底的黏附性

提高膠的抗腐蝕能力

優(yōu)化膠的光學(xué)吸收特性

提高涂膠的均勻性

提高條寬控制能力

通過前烘,基片上的光刻膠基本固化。

前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱性能:

潔凈度:Class100;     

溫度:RT+15~200℃;
氣體:N2 

計時功能:0-99H99M99S 

設(shè)備材質(zhì):內(nèi)部SUS304不銹鋼           

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×550

(可定制)          

網(wǎng)板:活動式2塊

前烘氮氣烘箱,潔凈烘箱適用性:

氮氣烘箱也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研.


真空無氧固化爐,高溫?zé)o氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍: RT ~300/450/550℃;
溫度波動度:≤±1

升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:自然降溫或風(fēng)冷+水冷降溫

氮氣控制: 可調(diào)試流量計控制
氧含量檢測:201000ppm

工作尺寸:W350×H350×D400,

高溫?zé)o氧真空烘箱溫控系統(tǒng):
操作界面:人機(jī)界面+PLC,可一鍵運行,多個工藝編輯;
溫度測量:K型熱偶;

控制儀表:高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃,


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